SEMI S2 (반도체 인증, 환경안전)

SEMI 규격의 요구 사항에 부합할 수 있도록 기업의 실무자를 위한 교육 훈련 과정이며, 반도체 제조 설비에 대한 환경, 보건, 안전 요구 사항과 시험, 평가 방법을 자세히 설명합니다.

SEMI는 인증이라기보단 반도체 제조 장비의 품질 안전 평가 리포트이며, 반도체 제조 설비에 대한 환경, 보건, 안전 요구 사항 규격으로 특정한 지역의 강제 규격이 아닌 반도체 제조회사에서 요구하는 비강제 규격이므로 업체가 자율적으로 선택하거나 수입업체의 요청이 있을 경우, SEMI를 진행하는 시험/ 인증기관에 신청하여 획득합니다.

'SEMI S2'는 포괄적 규격으로, 모든 유형의 반도체 생산 장비에 필요한 최소한의 환경, 건강과 안전 요건을 정의하고 있습니다. 특히 'SEMI S8'은 인체 공학적 설계 요건을 다루고 있습니다.

전 세계 반도체, 평판 디스플레이 업계로부터 3,000여명의 자원 봉사자들이 동참하여 표준 규격안을 만들고, 반도체와 평판 디스플레이 장비 및 재료 산업의 수요자와 공급자들이 투표하여 결정되며 매년 3번식 업데이트됩니다. SEMI 홈페이지 www.semi.org를 통해 업데이트된 최신 규격을 확인할 수 있으며, 규격 개발에 참여를 신청할 수도 있습니다.

• S2 Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
• S8 Ergonomics Engineering

이외 S1 ~ S20 까지의 SEMI Equipment Safety Guidelines를 따릅니다.

케미컬, 장비 자동화(하드웨어, 소프트웨어), 재료, 가스, 마이크로 패턴, 설비 및 안전, 패키징, 평판 디스플레이 등 반도체와 평판 디스플레이 장비 및 재료 가공 설비

해당 반도체 장비 종류

• Abatement Equipment
• Analysis & Measurement Equipment
• Assembly Equipment
• Chemical Chillers
• Chemical Mechanical Planarization (CMP) Equipment
• Chemical Mixing and Dispensing
• Chemical Vapor Deposition (CVP) Equipment
• Cleanroom Equipment
• Cluster Tools
• Commercial Processing Water Chillers
• Cryo-pumps & Compressors
• Defect Detection Equipment
• Dry Etch/Strippers
• Electric Industrial Control Equipment
• Electrical and Electronic Test & Measurement Equipment
• Elevators
• Factory Automation Equipment
• Film Thickness Equipment
• Gas Handling Equipment
• Heated Chemical Bath
• Heating and Cooling Equipment
• Indexers
• Industrial Control Equipment
• Industrial Machinery
• Ion Implantation Equipment
• Lasers & Laser Equipment
• Motor-operated Applicances
• Motor-operated Air Compressors, Vacuum Pumps
• Physical Vapor Deposition (PVD) Equipment
• Power Supplies
• Pre-aligners
• Probe Stations
• Process Control Equipment
• Production Equipment
• Re-circulator